Sieger des IQ Innovationspreis Halle 2023: point electronic GmbH

Christoph Sichting | Bildnachweis: Tom Schulze

Mikroskop maximiert

Analysetool ermöglicht hochauflösende Untersuchung von Halbleitern

Halbleiter treiben als Hauptbestandteil von Mikrochips die Digitalisierung und neue Technologien voran. Die Chips werden immer kompakter und ermöglichen hochkomplexe Technologien auf kleinstem Raum – mit einer Herausforderung in der Herstellung: Wie findet man Fehler in den Strukturen, die nur einige Lagen Atome klein sind? Bisher nutzte man dafür Rasterelektronenmikroskope, deren Auflösung für die neueste Generation von Halbleitern allerdings nicht mehr ausreicht. Transmissionselektronenmikroskope bieten die höchste Auflösung, eine elektrische Analyse war damit aber bisher nicht möglich. Die point electronic GmbH aus Halle (Saale) schließt nun genau diese Lücke: Erstmals ermöglicht der In-Situ Electrical Analyser als kommerziell verfügbares Gerät die gemeinsame Analyse von Material, Struktur und elektrischen Eigenschaften in einem bisher unerreichten Auflösungsbereich. Zusätzlich kann man mit einer Echtzeitanalyse die elektrische Funktion untersuchen. Diese Leistung ist vergleichbar damit, vom Mond aus genau zu sehen, welche Lampe auf dem Marktplatz einer Stadt brennt, ob sie flackert und wo der Fehler liegt. Die Innovation hat das Potential zur Schlüsseltechnologie, weil damit komplexeste Chipsysteme mit größter Präzision für eine steigende Nachfrage kommerziell herstellbar sind. Bereits seit einem Jahr am Markt, wird das Gerät komplett in Halle (Saale) gefertigt und kann nahtlos in bewährte Analysesysteme eingebunden werden.